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光刻机板块短线拉升，永新光学涨停，茂莱光学、苏大维格、福晶科技、波长光电、超纯应材等跟涨。消息面上，佳能宣布，将于2026年12月上旬发售面向存储和逻辑芯片的KrF（氟化氪）扫描式半导体光刻机FPA-6400ES6a。通过新开发的超高加速度载台缩短驱动时间，这款KrF扫描式半导体光刻机新产品具备每小时400片晶圆的高产能。
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