2026湾芯展参展企业数量同比增长66%至上千家 新凯来公开两款新设备
10月14日，2026湾区半导体产业生态博览会（简称“湾芯展”）在深圳会展中心（福田）开幕。北方华创、中微公司、ASM、新凯来工业机器、盛美上海、拓荆科技等上千家企业参展，参展企业数量同比增长66%。
据界面新闻记者现场了解，新凯来工业机器此次展示了刻蚀、扩散、薄膜沉积、光学检测、光学量测、物理与X射线量测等设备，覆盖工艺装备和量检测装备两大方向。
界面新闻记者从新凯来展台获取的一份《新凯来装备介绍》手册中看到，相较于此前公开的产品资料，该手册新增列出了两款设备：一款是光学检测方向的PMI（六盘山）图形掩模缺陷检测设备，该设备面向掩模厂和芯片制造厂，主要用于掩模制造工艺监控、出货检、来料检，及定期质量检测；另一款是电子光学量检测方向的mEBI（井冈山）多电子束晶圆缺陷检测设备，主要用于芯片研发及量产环节的纳米级尺寸和电性缺陷检测，并集成AI缺陷检测、定位与分类功能。
现场工作人员告诉记者，手册中列出的产品均已发布。
（文章来源：界面新闻）
