“免写”研究生论文，拿下专业硕士学位，还在对口企业直接就业——胥沛雯和周正做到了。
“我们的课堂在无尘车间，课题就是企业的研发难题。”6月中旬，这两位上海海洋大学首届集成电路专项班研究生脱下无尘衣、穿上学位服，刚在临港校园参加完学校毕业典礼，又前往住企培养单位——上海邦芯半导体。
学位答辩会现场
不久前，他们带着两年半扎根企业一线攻克国产芯片制造“卡脖子”工艺的实战成果，在一场设在企业内部的硕士学位论文答辩会上，赢得高校教授和国家级行业专家的全票通过，成为上海海洋大学首批以实践成果申请并获授硕士学位的专业硕士。
开题报告会现场
【扎根无尘车间，做到“真题真做”】
依据《中华人民共和国学位法》，推进研究生教育评价改革，将学位论文答辩“搬”进企业生产现场。这一新模式突破“唯论文”的传统评价体系，形成“以实践成果为核心、以产业贡献为导向”的工程人才评价新标准。
“一代设备，一代工艺，一代芯片”，高端制造装备的自主可控成为我国实现科技自立自强的核心关键。上海海洋大学与邦芯半导体就围绕国产关键机台底层技术需求，校企合作开出集成电路专项班，“把企业真实痛点作为毕业课题，把实战设备工艺突破作为毕业答卷”，探索可复制、可推广的产教融合工程硕博士培养方案。
作为“吃螃蟹的人”，首届专项班仅两位同学。他们2024年3月加入联合培养项目，一头扎进邦芯半导体的无尘车间，将课题直指制约国产设备突围的前沿技术盲区，淬炼解决复杂工程问题的真本领。
专项班学子在车间（右一为周正、右二为胥沛雯）
【为三维先进封装破题，为先进制程互连攻关】
胥沛雯啃的是“深硅刻蚀”这根硬骨头。这是三维先进封装的关键工艺，稍有不慎就会出现侧壁缺陷、加工效率上不去。
在许竞翔教授和王士京博士指导下，他依托邦芯自研的“Topaz”深硅刻蚀机，泡在车间里反复调试参数，手指在设备面板上飞舞了成百上千次，最终自主开发出原位平滑工艺，还提出了等效开口率负载模拟法。两年半下来，他硬是“攒”出了6项发明专利，为三维先进封装破题，交出了一份让企业专家都翘起大拇指的实战答卷。
专家指导首届毕业生（中为胥沛雯）
周正则“钻”进了钨金属填充的世界。在褚振华教授和涂乐义博士指导下，他另辟蹊径，从设备底层控制架构“动手术”，引入可编程逻辑控制器和可控硅调压器，把传统设备“反应慢”“温度飘”的毛病一一治服。
他开发的低阻钨微孔填充工艺，在低电阻、高填充率和量产效率之间找到了那个“黄金平衡点”，还拿下了2项授权发明专利，为先进制程互连攻关立功。
周正在生产线上
【校企联合把关，导引车间答辩走向产业舞台】
为全方位评估专项班学生的培养质量，这次答辩委员会由张江实验室、上海邦芯半导体及外部行业资深专家共5人组成，严格按照专业工程硕士培养标准进行评审。
答辩过程中，两位同学不仅系统阐述了工艺方案设计、产线机台验证、研究结论突破的完整工程实践链条，更针对答辩委员会提出的核心工艺产业化前景、设备实际运行状况、工程落地价值等实战问题，给出了条理清晰、专业扎实的解答。
经闭门评议并无记名投票，答辩委员会一致认为，两名同学的学位论文达到了专业工程硕士研究生水平，其展现出的解决复杂工程问题的能力和产业实践素养，得到了专家们的高度评价。
企业专家为学生授课
解放日报·上观新闻记者了解到，目前集成电路专项班共有两个年级36名学子在读，上海海洋大学将继续携手邦芯半导体等行业头部企业，秉持“产教融通、协同育人”理念，让更多学生在无尘车间的生产线上成长，为中国集成电路产业培养更多卓越工程师人才。
（文章来源：上观新闻）
