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在2025湾区半导体产业生态博览会（简称“2025湾芯展”）期间，华特气体董事、总经理傅铸红在接受《科创板日报》记者专访时表示，随着半导体制程越来越先进，从14nm进化到7nm乃至以下，其对混合光刻气的纯度要求会越来越高，如何进一步提高光刻气的纯度，是华特气体未来需要重点攻克的方向。傅铸红表示，目前适用于外延成膜、强腐蚀性气体、High-k前驱体等领域的高端电子气体领域，国产率还相对较低。他个人认为，不到三年内，适用于High-k前驱体的气体国产化将迎来突破。
（文章来源：科创板日报）
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