重大突破！富加镓业4英寸VB法氧化镓衬底性能达到国际先进水平
记者从杭州光学精密机械研究所获悉，杭州光机所孵育企业杭州富加镓业在垂直布里奇曼（VB）法氧化镓晶体生长领域取得重大突破，经测试单晶质量达到国际先进水平，现同步向市场推出晶体生长设备及工艺包。测试结果表明，使用富加镓业设备生长出的4英寸VB晶体内无孪晶，单晶衬底XRD半高全宽（FWHM）优于50arcsec，与导模法制备的氧化镓单晶衬底质量相当，性能达到国际先进水平；衬底表面粗糙度（Ra）小于0.2nm，弯曲度（Bow）达到1.8μm，翘曲度（warp）达到9.3μm，总厚度偏差（TTV）<10.0μm，相关加工指标达到4英寸碳化硅衬底产品要求。VB法装备的成功研制，标志着公司在技术创新上取得了重大突破，是公司于2024年5月在国际上率先突破导模法“一键长晶”技术后又一里程碑事件。资料显示，富加镓业为衢州发展(600208)参股的高科技投资企业。
（文章来源：证券时报）
