南方财经10月16日电，近日，拓荆科技公告称，拟通过发行股份及支付现金方式，购买无锡尚积82.97%股份、上海泰纳微100%股权及无锡宽行100%股权，交易价格合计25亿元。交易完成后，公司将直接及间接持有无锡尚积100%股份。无锡尚积主要从事半导体薄膜沉积与刻蚀设备的研发、生产和销售。据天眼查显示，无锡尚积半导体科技股份有限公司拥有“具备离子轨迹调控功能的PVD溅射准直设备”发明专利，于今年9月获得授权，目前有效。摘要显示，该设备向准直器施加正偏压，并配合基座的负偏压形成加速电场，对金属正离子进行定向加速，以强化深孔底部的薄膜填充效果。
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