人民财讯10月16日电，半导体设备是我国半导体产业中长期面临的“卡脖子”环节。国产半导体设备突围之路走到了哪一步？今年的湾芯展上，一批国产半导体设备、材料、工具等新品集中亮相，成为观察行业最新进展的绝佳窗口。
伴随自主可控不断深化，国产设备正持续向高端领域突破。
本次湾芯展上，国产半导体刻蚀设备龙头中微公司推介了最新发布的两款高端半导体微观加工设备。
华海清科发布中束流离子注入机产品，向着关键设备国产化持续攻坚；微导纳米推出全新的iMagtron系列磁控溅射系统（PVD）及Ru超薄膜工艺专用ALD设备，实现了ALD、CVD、PVD三大主流薄膜沉积技术路线全体系覆盖。
（文章来源：证券时报网）
