微导纳米发布iMagtron系列磁控溅射系统和iTomic MeT系列原子层沉积系统Ru工艺
《科创板日报》14日讯，在今日的2026湾芯展开幕式上，微导纳米发布新产品及新工艺。其中，新产品为iMagtron系列磁控溅射系统设备，具备包括整体尺寸更紧凑；采用模块化设计，同一系统满足不同应用和技术节点Cu1-Cu4不同工艺需求；整体工艺上针对各个应用痛点，如Ta/TaN优化设计，PK LifeTime优化50%以上等优点。其新工艺为iTomic MeT系列原子层沉积系统Ru工艺。微导纳米通过原子级的形核调控技术，在多种衬底上实现＜5nm连续Ru薄膜成膜，关键指标达到量产参考水平。
（文章来源：科创板日报）
