英特尔High-NA EUV晶圆处理量突破百万片

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英特尔High-NA EUV晶圆处理量突破百万片

2026年09月08日 10:51

来源：科创板日报

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　　英特尔宣布，其采用高数值孔径极紫外（High-NA EUV）光刻设备处理的300mm晶圆数量累计已突破一百万大关。这一里程碑距离其首台High-NA EUV设备完成组装还不到两年半时间。

（文章来源：科创板日报）

文章来源：科创板日报责任编辑：70

原标题：英特尔High-NA EUV晶圆处理量突破百万片

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