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据捷佳伟创消息，近日，公司子公司创微微电子（常州）有限公司（简称“创微微电子”）自主研发的光掩模清洗设备在多家终端Fab厂完成验证并实现量产交付，提供的设备在颗粒控制、无水痕、表面洁净度上都满足先进制程要求。在光掩膜清洗领域，创微微电子已形成完整产品矩阵，覆盖5"–9"多种尺寸石英光掩膜，支持前后面全自动清洗、可选AOI颗粒检测、SMIF自动上下料，关键零部件国产化率超80%，软件完全自主开发。
（文章来源：南方财经网）
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