光刻机DUV和EUV区别在哪?一图梳理相关概念
2026年07月28日 18:43
来源: 东方财富研究中心
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  今天光刻机相关概念股逆势上涨,波长光电20厘米涨停,张江高科奥普光电10厘米涨停;而海外光刻机概念股则遭遇大跌,美股阿斯麦跌5.8%,日股佳能跌5.73%、尼康跌11.03%。

  依据光源波长差异,光刻机可划分为紫外(UV)、深紫外(DUV)和极紫外(EUV)三大类,分别对应不同纳米制程芯片的制造需求。

  头豹研究院指出,EUV的光源波长为13.5nm,可以制造7nm及以下制程的芯片;最先进DUV的光源波长为193nm,较长的波长使DUV无法实现更高的分辨率,因此只能用于制造7nm及以上制程的芯片。

  根据华创证券研报,光刻机2024年阿斯麦、佳能、尼康市占率分别为61.2%、34.1%、4.7%。佳能与尼康聚焦KrF与i-line等成熟机型,而阿斯麦在ArFi浸没式与EUV领域高度垄断。

(文章来源:东方财富研究中心)

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