半导体设备板块日内持续回暖，盛美上海创历史新高，消息面上，SEMI发布的报告显示，2026年第一季度全球半导体设备出货金额同比增长14%，达到365.5亿美元，环比增长1%。创纪录的季度销售额由持续的AI相关投资驱动，包括支持先进逻辑芯片、DRAM和先进封装的产能扩张和技术升级。
太平洋证券指出，全球科技巨头AI资本开支正加速迈向近万亿美金新纪元，2026年预期突破8000亿美元，推理需求爆发成为新一轮投资核心驱动力，算力产能瓶颈仍在制约云业务收入增长潜力。在AI算力“一超多强”格局下，NVIDIA主导训练并向推理及端侧延伸，博通/Marvell聚焦定制推理芯片，AMD通过ROCm生态追赶，ARM架构在数据中心渗透率快速提升，光芯片与HBM亦进入高速增长期，其中HBM市场2026年维持高两位数增长，三大厂产能售罄，存储正从周期商品转为战略资源。
截至2026年6月17日 13:28，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)强势上涨5.88%，成分股盛美上海上涨17.94%，艾森股份上涨13.34%，龙图光罩，华峰测控等个股跟涨。科创半导体设备ETF鹏华(589020)上涨5.70%， 冲击3连涨。最新价报2.41元。
科创半导体设备ETF鹏华紧密跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，上证科创板半导体材料设备主题指数选取科创板内业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，以反映科创板半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。
数据显示，截至2026年5月29日，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)前十大权重股分别为拓荆科技、华海清科、中微公司、沪硅产业、中科飞测、芯源微、华峰测控、安集科技、天岳先进、中船特气，前十大权重股合计占比72.71%。
