截至2026年6月4日收盘，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)强势上涨4.77%，成分股中船特气上涨20.00%，沪硅产业上涨14.12%，兴福电子上涨14.01%，华峰测控，中巨芯等个股跟涨。科创半导体设备ETF鹏华(589020)上涨4.96%， 实现3连涨。最新价报2.03元。拉长时间看，截至2026年6月3日，科创半导体设备ETF鹏华近1月累计上涨21.68%。（以上所列股票仅为指数成份股，无特定推荐之意）

　　流动性方面，科创半导体设备ETF鹏华盘中换手29.26%，成交2.70亿元，市场交投活跃。拉长时间看，截至6月4日，科创半导体设备ETF鹏华近1周日均成交3.36亿元。

　　份额方面，科创半导体设备ETF鹏华近1月份额增长1.44亿份，实现显著增长，新增份额位居可比基金1/3。（数据来源：Wind）

　　资金流入方面，科创半导体设备ETF鹏华最新资金净流出1947.66万元。拉长时间看，近10个交易日内，合计“吸金”2.04亿元。（数据来源：Wind）

　　数据显示，杠杆资金持续布局中。科创半导体设备ETF鹏华最新融资买入额达1026.37万元，最新融资余额达3344.55万元。（数据来源：Wind）

　　截至6月3日，科创半导体设备ETF鹏华近6月净值上涨75.82%，指数股票型基金排名21/4688，居于前0.45%。从收益能力看，截至2026年6月3日，科创半导体设备ETF鹏华自成立以来，最高单月回报为24.49%，最长连涨月数为3个月，最长连涨涨幅为34.19%，涨跌月数比为6/3，上涨月份平均收益率为17.12%，月盈利百分比为66.67%，月盈利概率为63.75%，历史持有6个月盈利概率为100.00%。

　　回撤方面，截至2026年6月3日，科创半导体设备ETF鹏华成立以来相对基准回撤5.20%。回撤后修复天数为38天。

　　费率方面，科创半导体设备ETF鹏华管理费率为0.50%，托管费率为0.10%，费率在可比基金中最低。

　　科创半导体设备ETF鹏华紧密跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，上证科创板半导体材料设备主题指数选取科创板内业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，以反映科创板半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。

　　数据显示，截至2026年5月29日，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)前十大权重股分别为拓荆科技、华海清科、中微公司、沪硅产业、中科飞测、芯源微、华峰测控、安集科技、天岳先进、中船特气，前十大权重股合计占比72.71%。（以上所列股票仅为指数成份股，无特定推荐之意）

　　（以上所列股票仅为指数成份股，无特定推荐之意）

（文章来源：界面新闻）