台积电:已采购高数值孔径极紫外(High-NA EUV)光刻机用于研发
台积电首席执行官称,已采购高数值孔径极紫外(High-NA EUV)光刻机用于研发,但受成本过高影响,当前量产阶段暂不需要高数值孔径极紫外设备。
(文章来源:财联社)
台积电首席执行官称,已采购高数值孔径极紫外(High-NA EUV)光刻机用于研发,但受成本过高影响,当前量产阶段暂不需要高数值孔径极紫外设备。
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