截至2026年6月2日 10:35，中证半导体材料设备主题指数(931743)强势上涨1.98%，成分股江丰电子上涨12.52%，中船特气上涨9.19%，江化微上涨6.00%，雅克科技，安集科技等个股跟涨。半导体设备ETF华夏(562590)上涨2.03%，最新价报2.46元。拉长时间看，截至2026年6月1日，半导体设备ETF华夏近1月累计上涨13.99%，涨幅排名可比基金1/5。（以上所列股票仅为指数成份股，无特定推荐之意）

　　流动性方面，半导体设备ETF华夏盘中换手率8.29%，成交额3.03亿元。拉长时间看，截至6月1日，半导体设备ETF华夏近1月日均成交额4.43亿元。

　　规模方面，半导体设备ETF华夏最新规模达36.34亿元。（数据来源：Wind）

　　资金流入方面，半导体设备ETF华夏近5个交易日内有3日资金净流入，合计“吸金”2669.03万元，日均净流入达533.81万元。（数据来源：Wind）

　　截至6月1日，半导体设备ETF华夏近6月净值上涨60.71%。

　　跟踪精度方面，截至2026年6月1日，半导体设备ETF华夏今年以来跟踪误差为0.014%，在可比基金中跟踪精度最高。

　　半导体设备ETF华夏(562590)，场外联接(华夏半导体材料设备ETF联接A：020356；华夏半导体材料设备ETF联接C：020357)。

（文章来源：界面新闻）