赛微电子：北京FAB3已实现硅麦克风、BAW 滤波器、微振镜、超高频器件的量产
证券日报网2月25日讯 ，赛微电子在接受调研者提问时表示，北京FAB3已实现硅麦克风、BAW滤波器、微振镜、超高频器件的量产，正在进行小批量试产气体、生物芯片、惯性加速度计、惯性测量单元（IMU）、温湿度、硅晶振、MEMS-OCS等MEMS器件，同时对于微流控、压力、磁性传感、3D硅电容等MEMS芯片、器件及模块，正积极从工艺开发向验证、试产、量产阶段推进。北京FAB3将继续做好中长期规划，密切关注市场环境动态，深化全国重点区域布局，注重分析产品在不同应用领域的特点，持续提升运营能力。
（文章来源：证券日报）
