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半导体设备股震荡拉升，洁净室方向领涨，圣晖集成涨停，亚翔集成涨近8%，创历史新高，耐科装备、强一股份、华康洁净、美埃科技、芯碁微装跟涨。浙商证券指出，国内晶圆厂产能利用率回升扩产意愿强烈，AI驱动存储超级周期，国内先进逻辑&存储扩产有望共振，叠加自主可控逻辑下国产化率继续提升，带动设备需求向上。
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