据中国政府采购网公示，上海微电子装备（集团）股份有限公司中标zycgr22011903采购步进扫描式光刻机项目，设备数量为一台，成交金额1.1亿元。

　　公告显示，中标供应商名称为上海微电子装备（集团）股份有限公司，供应商地址为上海市张江高科技园区张东路1525号。中标货物名称为步进扫描式光刻机，货物型号为SSC800/10。

　　张江高科直线拉升，截至发稿，涨超7.8%，最新股价报43.7元/股。

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　　科技部1.09亿元下单上海微电子步进扫描式光刻机

　　企查查APP显示，近日，上海微电子装备（集团）股份有限公司中标步进扫描式光刻机项目，中标金额约1.09亿元。据此前公告，招标方为科学技术部。企查查信息显示，该公司成立于2002年，经营范围包含：半导体装备、泛半导体装备、高端智能装备的开发、设计、制造、销售及技术服务等，由上海电气控股集团有限公司、张江高科全资子公司上海张江浩成创业投资有限公司等共同持股。

　　据了解，步进扫描光刻是一种混合光刻技术，结合了扫描投影光刻和分步重复光刻的优势。该技术通过动态扫描方式同步移动掩膜版和晶圆，标准曝光尺寸为26 mm×33 mm，可增大曝光场并一次曝光多个芯片，其具备整个扫描过程的实时聚焦调节能力，适用于0.25μm以下的制造工艺，尤其在0.18μm节点及更先进工艺中广泛应用。

　　东财图解·加点干货

（文章来源：上海证券报）