光刻机技术实现突破性进展，人工智能AIETF（515070）盘中涨超2%
A股三大指数高开后震荡走强，涨幅均超1%。盘面上，科技板块强势上涨，存储板块午后再度上攻。截至13点48，人工智能AIETF（515070）涨幅扩大至2.31%，其持仓股新易盛、大华股份涨超8%，深信服、光迅科技、协创数据纷纷上涨。
消息面上，北京大学团队首次将冷冻电子断层扫描技术应用于光刻胶微观行为解析。该技术成功“定格”并三维重构了光刻胶在显影液中的真实状态，分辨率优于5纳米，突破了传统方法无法原位、高分辨率观测的局限。基于此，团队提出了抑制缠结与界面捕获的工艺方案，使12英寸晶圆的光刻缺陷数量降幅超过99%，且方案与现有产线兼容，为先进制程良率提升提供了新方法。
申港证券指出，光刻是整个集成电路制造过程中耗时最长、难度最大的工艺，耗时占IC制造50%左右，成本约占IC生产成本的1/3。光刻胶是光刻过程最重要的耗材，光刻胶的质量对光刻工艺有着重要影响。
人工智能AIETF（515070）跟踪CS人工智能主题指数（930713），成分股选取为人工智能提供技术、基础资源以及应用端个股，聚集人工智能产业链上中游，俗称“机器人”大脑“缔造者”，万物互联“地基”。前十大权重股包括中际旭创、新易盛、寒武纪-U、中科曙光、科大讯飞、豪威集团、海康威视、澜起科技、金山办公、紫光股份等国内科技龙头。
（文章来源：每日经济新闻）
