阿斯麦：首台EXE:5200B High NA光刻机已发运
阿斯麦（ASML）总裁兼首席执行官傅恪礼表示，“我们看到光刻机投资在晶圆厂总体投资中所占的比重持续保持强劲，尤其是在DRAM（动态随机存取存储器）领域，而TWINSCAN NXE:3800E的推出也进一步巩固了这一趋势。与此同时，EUV光刻机的应用正在按计划推进，其中包括高数值孔径（High NA）系统。本季度，我们发运了首台TWINSCAN EXE:5200B系统。”
（文章来源：科创板日报）
