ASML：3D整合将成为2D收缩日益重要的补充技术
在阿斯麦（ASML）今日发布的主题为“携手推进技术向新”的2024年度报告中，首席执行官克里斯托弗·福凯（Christophe Fouquet）表示：“如果我展望ASML的未来增长，光刻技术无疑仍然是摩尔定律的主要驱动力之一，我们相信这一点在未来许多年里依然成立。与此同时，正如我们几年前就意识到的，二维收缩（2D shrink）正变得越来越困难。这并不完全是由于光刻技术的局限性，而是因为我们几乎达到了逻辑和存储器客户所使用的晶体管的极限。为了继续在二维收缩方面取得进展，我们需要在架构和器件上进行创新。这意味着需要进行三维前道整合（3D front-end integration），而这将为我们带来增长机会——因为三维整合技术依赖于键合（Bonding），而这又需要一体化光刻技术（holistic lithography）。我认为，三维整合将成为二维收缩日益重要的补充技术或技术组合。”
（文章来源：科创板日报）
