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企查查APP显示，近日，上海芯上微装科技股份有限公司成立，法定代表人为何飞，注册资本5843.84万元，经营范围包含：半导体器件专用设备制造；半导体器件专用设备销售；电子专用设备制造等。企查查股权穿透显示，该企业由张江高科(600895)全资子公司上海张江浩成创业投资有限公司等共同持股。
（文章来源：证券时报）
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