我国科学家开发出新型激光切割技术
摘要
【我国科学家开发出新型激光切割技术】近日，清华大学精密仪器系孙洪波教授和吉林大学陈岐岱教授联合团队，开发出一种超隐形切割技术，在包括玻璃、激光晶体、铁电体等多种透明材料中实现了横向精度10纳米，深宽比超15000的纳米深加工，将目前该领域国际上文献可查的加工精度提升了10至100倍。相关成果5月8日在线发表于国际学术期刊《自然·光子学》。
近日，清华大学精密仪器系孙洪波教授和吉林大学陈岐岱教授联合团队，开发出一种超隐形切割技术，在包括玻璃、激光晶体、铁电体等多种透明材料中实现了横向精度10纳米，深宽比超15000的纳米深加工，将目前该领域国际上文献可查的加工精度提升了10至100倍。相关成果5月8日在线发表于国际学术期刊《自然·光子学》。
（文章来源：科技日报）
