东方晶源推出新一代电子束检测设备 光学检测灵敏度提升至20nm
东方晶源宣布推出新一代电子束检测设备DR-SEM r655，该产品将搭载全新的高性能电子枪和光学检测模组，以及升级版传片系统和算法系统，满足国内先进制程产线应用需求。其深紫外光源系统基于自研光路和定制开发的国产深紫外激光源，光学检测灵敏度提升至20nm。
（文章来源：科创板日报）
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