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　　探针台——半导体三大核心测试设备之一，因承担着检测芯片性能与缺陷、保证芯片测试准确性等重要任务，又被称作半导体行业的“体检师”。

　　3月24日，探针台设备龙头企业矽电股份在深交所创业板上市。过去20余年，矽电股份扎根于半导体探针测试技术领域，先后研发并量产了6英寸、8英寸、12英寸的晶圆探针台等测试设备，填补了多项技术空白，从追赶者向业界先进水平不断迈进。

　　“唯有自主创新，才能实现产业链安全。”近日，矽电股份董事长何沁修在接受上海证券报记者专访时表示，未来，公司将在推进探针测试技术纵深研究的基础上，探索横向技术延伸，与产业链伙伴协同，突破更多的“卡脖子”环节。

　　走出自主创新之路

　　20年间，从一家小微企业成长为“中国探针台设备厂商中的第一”，矽电股份走出一条技术自主创新之路。

　　2003年，中国半导体设备市场仍是进口设备的天下，很少有企业涉足半导体设备领域。彼时，许多半导体企业因为资金不足，买不起进口新设备，只能退而求其次，选择翻新的二手进口设备。

　　“看到这样的情况，我和王胜利、杨波、辜国文、胡泓（共同为公司实控人）就想着一定要造出自己的半导体设备。”何沁修回忆，在这样的决心之下，矽电股份开启了技术突破之路。

　　探针台主要用于晶圆测试环节，在半导体制造过程中，一旦有芯片未通过探针台检测直接流入封装环节，将导致材料与设备损耗成本激增。因此，探针台及探针测试技术是芯片检测必不可少的关键设备及技术。

　　2005年，矽电股份研制的6英寸半自动探针台获得科技部中小企业创新基金立项。这款设备，每一行代码都由公司创始人亲手敲下，共同“打磨”而成。

　　凭借这台设备，矽电股份敲开了比亚迪半导体、华润微、长电科技等多家半导体晶圆制造厂商的“大门”。此后，公司接连推出8英寸、12英寸的全自动探针台设备，逐渐在中国市场树立起优势地位。

　　据CSA Research研究报告，2019年矽电股份在中国探针台市场的占有率为13%，排名第四。2019年至2023年，矽电股份在中国探针台市场的占有率从13%跃升至25.7%，四年间实现了市场份额倍增。

　　在技术上做到“极致”

　　矽电股份不仅力求在关键技术上实现突破，也期望在技术上做到“极致”，构建起稀缺性的优势和核心壁垒。

　　在12英寸探针台的研发上，以精密度为例，2013年，公司推出中国首台12英寸晶圆探针台，定位精度与国际同类设备还有较大差距；至2020年迭代至PT-930型号时，精度已提升至±1.3μm——这相当于在标准足球场上精准定位一颗芝麻，接近国际同类设备水平。

　　“12英寸的设备太复杂了，在真正实现产业化应用前，我们的研发至少做了三个版本。”何沁修表示，虽然过程充满了诸多不易，但是公司的研发决心从没有动摇。如今，矽电股份的新一代全自动高精密12英寸探针台产品GT-3000、8英寸GT2000系列，已开始在对应市场中销售。

　　在不断优化的过程中，矽电股份构建了强大的技术壁垒，建立了性能好、精密度高、测试效率高等稀缺性优势，其产品性能指标达到业界先进水平。凭借优秀的技术实力、严格的质量控制、积极的售前售后服务，矽电股份已成为多家重要半导体厂商的供应商。

　　为国产设备发展奠定坚实基础

　　作为探针台设备龙头企业，矽电股份无疑为产业链国产化提供了动力。

　　何沁修坚信，一家企业要立于不败之地，必须有计划地做好技术储备。招股书显示，矽电股份坚持对标国际一流技术指标，推动技术创新。公司最近3年研发费用的复合增长率为24.10%，研发人员数量复合增长率为25.17%。

　　持续投入下，矽电股份围绕自身的核心技术领域，修筑起一道专利护城河。截至2024年6月，公司累计获得境内外授权专利246项、软件著作权79项，构建起覆盖精密机械、智能控制、光学识别三大技术领域的知识产权矩阵。目前，公司已储备了面向先进封装等半导体领域的探针测试技术，以及分立器件分选机和AOI检测技术。

　　此次IPO，矽电股份拟募集资金约5.45亿元，用于探针台研发及产业基地建设项目、分选机技术研发项目、营销服务网络升级建设项目以及补充流动资金。

　　何沁修表示，未来，矽电股份将在巩固现有主营业务及核心技术的基础上，围绕行业技术发展趋势，加大对分选机等新产品的研发，进一步延伸产业链、完善产品布局，增强持续盈利能力。

　　“芯片企业势必攀登产业的技术高峰，所以矽电股份要在探针测试领域有创立自己品牌的担当。”展望公司的未来发展，何沁修希望，当“中国芯”加速实现技术创新并迈向全球市场时，矽电股份和它的高精密探针台设备，能够成为铺就这条半导体产业崛起之路的一块重要基石。

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（文章来源：上海证券报）