上证报中国证券网讯日前，华海清科公告称，拟合计使用自有资金不超过10.045亿元收购其参股子公司芯嵛半导体（上海）有限公司（以下简称“芯嵛半导体”）剩余82%的股权，本次交易完成后，芯嵛半导体将成为华海清科的全资子公司。

　　据了解，离子注入装备是集成电路制造前道工序中的关键装备，涉及多学科交叉，理论门槛高，系统集成难度大。芯嵛半导体作为离子注入装备供应商，其研发生产的主要产品——大束流离子注入装备（包括低能大束流、氢离子大束流、高温大束流等离子注入装备）已发往客户端验证，部分机台完成验证并实现销售。

　　芯嵛半导体核心技术团队专注于离子注入领域三十余年，具有丰富的行业经验与技术积累，使其离子注入系列装备具有更好的晶圆颗粒污染控制效果与晶圆的装载效率，且装备零部件的国产化率更高。目前，离子注入装备市场集中度高，市场前景十分广阔。

　　华海清科表示，布局离子注入装备、收购芯嵛半导体剩余股权，是积极落实“装备+服务”平台化发展战略的又一重要举措，是深耕集成电路制造上游产业链关键领域的坚实步伐，将进一步增强公司在半导体高端装备领域的市场竞争力。未来，华海清科将继续加大研发投入、坚持自主创新、优化客户服务，以技术趋势和市场需求为导向，推出更多先进高端半导体装备与工艺集成解决方案，助力半导体产业实现高质量发展。

（文章来源：上海证券报·中国证券网）