上海:支持企业加快先进制程电子化学品及原辅料、集成电路工艺及装备材料等攻关
摘要
【上海:支持企业加快先进制程电子化学品及原辅料、集成电路工艺及装备材料等攻关】方案提出,支持企业加快先进制程电子化学品及原辅料、集成电路工艺及装备材料、第三代半导体(碳化硅、氮化镓等)、可降解植介入材料、新能源电池材料等攻关,推动20个产品形成批量供应能力。