台积电据悉将于9月底前低价引进High-NA EUV设备

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台积电据悉将于9月底前低价引进High-NA EUV设备

2024年09月10日 08:42

来源：界面新闻

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　　继英特尔抢先于2024年4月宣布完成业界首台高数值孔径极紫外（High NA EUV）光刻机组装后，台积电竹科园区将于9月底前引进其首台高数值孔径极紫外光刻机，据悉，首部抵台设备的购入价格远低于原定3.5亿欧元的单台报价。台积电之所以可以享受折扣，主要是ASML明显让步，全力协助台积电进机、调校与技术支援等，加速上线时间点，也就是此台主要目的为台积电试用。（台湾电子时报）

（文章来源：界面新闻）

文章来源：界面新闻责任编辑：6

原标题：台积电据悉将于9月底前低价引进High-NA EUV设备

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