截至2026年3月16日13:14，科创半导体ETF（588170）上涨0.55%，半导体设备ETF华夏（562590）上涨0.17%。

　　热门个股方面，金宏气体上涨5.34%，神工股份上涨4.66%，和林微纳上涨3.28%，艾森股份上涨2.86%，华海诚科上涨2.70%。

　　流动性方面，科创半导体ETF盘中换手5.96%，成交4.95亿元；半导体设备ETF华夏盘中换手2.7%，成交7164.01万元。

　　规模方面，科创半导体ETF近3月规模增长47.43亿元，实现显著增长，新增规模领先同类；半导体设备ETF华夏近2周规模增长7271.07万元，实现显著增长。

　　资金流入方面，科创半导体ETF近3天获得连续资金净流入，最高单日获得6033.73万元净流入，合计"吸金“1.26亿元，日均净流入达4216.05万元；半导体设备ETF华夏近9天获得连续资金净流入，最高单日获得1.27亿元净流入，合计”吸金3.26亿元，日均净流入达3620.75万元。

　　相关ETF：科创半导体ETF（588170）及其联接基金（A类：024417；C类：024418）：跟踪指数是科创板唯一的半导体设备主题指数，其中先进封装含量在全市场中最高（约50%），聚焦于科技创新前沿的硬核设备公司。

　　半导体设备ETF华夏（562590）及其联接基金（A类：020356；C类：020357），跟踪中证半导体材料设备主题指数，其中半导体设备的含量在全市场指数中最高（约63%），直接受益于全球芯片涨价潮对“卖铲人”（设备商）的确定性需求。

（文章来源：界面新闻）